北方華創集成電路裝備項目或6月竣工
2021-02-21 13:31
2 月21日,北方華創高端集成電路裝備研發及產業化項目,目前正在裝飾裝修階段,該項目預計6月初全部竣工,并將交付業主使用。據悉,該高端集成電路裝備研發及產業化項目為地下2層、地上10層,將建設28納米以下集成電路裝備工藝驗證及產業化條件,搭建5或7納米先進工藝設備測試驗證平臺,進行先進半導體工藝裝備研發及產業化。項目建設完成后,將具備年產刻蝕機、PVD、退火爐、立式爐、清洗機等設備150臺以上的能力。
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